میکروسکوپ‌ الکترونی چند پرتوی ساخته شد

به گزارش ایسنا ، پیشرفت در زمینه‌ تجهیزات میکروالکترونیک، میکرومصنوعات و علوم مواد تقاضا برای ابداع ابزاری با رزولوشن فضایی بسیار بالا و بی‌نظیر را افزایش داده و نمونه‌هایی که پیش از این از ابزار میکروسکوپی ساخته شده‌ و مبتنی بر لیتوگرافی پرتویی ذرات باردار بوده‌اند به دلیل وجود سیستمهایی پرتویی منفرد نتوانسته‌اند پاسخگوی نیاز متقاضیان باشند، اما این بار دکتر قیداری و دستیاران وی موفق شدند اولین میکروسکوپ الکترونی تصویربرداری چند پرتویی (MBSEM) را طراحی کنند که به این نیاز روز افزون پاسخ خواهد داد.

این میکروسکوپ قادر است هر مجموعه از پرتوها را روی یک ورقه باریک و بسیار نازک با رزولوشن شبیه به قدرت وضوح وضعیت فوق‌العاده عالی از ی میکروسکوپ تک پرتویی SEM بتاباند.

به گفته محمدی، اگر چه این سیستم اساسا برای تولید ظرفیت پذیرش بالا از ساختارهای زیر 10 نانومتر با فن‌آوری پرتو الکترونی القا کننده استقرار یا EBID طراحی شده است، اما در عین حال می‌توان از آن برای لیتوگرافی و بازرسی با پرتو الکترونیکی دارای ظرفیت پذیرش بالا نیز استفاده کرد.

وی خاطرنشان کرد: این سیستم متشکل از یک ستون SEM200 نانو نووآ به مدل تازه طراحی شده منبع الکترونی چند پرتویی مجهز بوده و قادر است 200 پرتو با خصوصیات کاملاً مشابه را با کیفیت تصویر زیر یک نانومتر، به‌ طور همزمان روی نمونه مورد نظر ارسال کند.

در این سیستم هر پرتو منفرد از یک منبع الکترون روشن SCHOTTKY به درون 100 وزنه پرتویی نفوذ می‌کند که روی هر کدام یک مجموعه لنز ALA بر روی مجموعه 13A متمرکز می‌شود سپس الگوی مورد نظر با تصویربرداری همزمان پرتوها روی لایه نازک رونویسی شده و در عین در زمان مناسب تک تک پرتوها خالی می‌شوند.

محمدی قیداری می‌گوید: ما اخیرا کارایی میکروسکوپ MBSEM را آزمایش کرده و به نتایج موفقیت آمیزی دست یافته‌ایم.

علی محمدی قیداری که 31 سال دارد متولد روستای علی آباد از توابع شهرستان خدابنده است که تحصیلات خود را تا مقطع کارشناسی ارشد در رشته فیزیک حلت جامد در دانشگاه‌های زنجان و تربیت معلم تهران به اتمام رسانده و از دو سال پیش تحصیلات و تحقیقات خود را در دانشگاه «دلفت» هلند پی گرفته است.